高性價(jià)比關(guān)鍵部位RF系統(tǒng)測(cè)量方案
BIRD 半導(dǎo)體 RF 測(cè)試
BIRD Semiconductor RF Measurement
l BIRD Technologies 在射頻行業(yè)的各市場(chǎng)及產(chǎn)業(yè)環(huán)節(jié)因可靠性而世界聞名──我們?nèi)硇闹铝τ谔嵘?BIRD 產(chǎn)品的可靠性。
l 全球范圍內(nèi)設(shè)立有 Bird Service Center（BSC），能夠根據(jù)各國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)和各企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)修理與校準(zhǔn) BIRD 產(chǎn)品。
l BSC 能隨時(shí)部署技術(shù)人員，監(jiān)測(cè)和排除故障原因，解決任何現(xiàn)場(chǎng)的問題，優(yōu)化客戶方案，滿足客戶的需求。
半導(dǎo)體市場(chǎng)
Semiconductor Market
l 自從等離子體**用于晶片生產(chǎn)過程后，功率測(cè)量就一直是半導(dǎo)體制造過程的關(guān)鍵部分。等離子體的 特性非常靈敏，受激勵(lì)能量影響較大，而射頻能量直接應(yīng)用于激勵(lì)等離子體；
l 半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)包含了生產(chǎn)制造高度集成化電路，包含通過將大量極度復(fù)雜的生產(chǎn)工藝集成到昂貴的生產(chǎn) 材料上的過程。
l BIRD 長(zhǎng)久以來為半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)過程器件的校準(zhǔn)提供高可靠性的，準(zhǔn)確度在 1%的功率傳感器及RF部件；
l 相對(duì)于半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)節(jié)的其他部分，RF 電源雖然體積小但是是極為重要的部分，直接影響等離子體特性變化以及生產(chǎn)質(zhì)量，因此射頻可靠性在整個(gè)環(huán)節(jié)中不可或缺；生產(chǎn)過程的重復(fù)性對(duì)于提高產(chǎn)能和控制半導(dǎo)體生產(chǎn)材料的利潤(rùn)至關(guān)重要。
l BIRD 由于射頻可靠性而聞名， 同時(shí)我們也以能提供滿足高重復(fù)性要求的儀器感到自豪。
BIRD RF 校準(zhǔn)
BIRD RF Calibration
l 在初期，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)所選擇的激勵(lì)能量為 DC 直流源。DC 源具有低成本，低準(zhǔn)確度的特點(diǎn)，對(duì)于早期半 導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)工藝精度要求來說綽綽有余。
l 隨著制程科學(xué)技術(shù)及生產(chǎn)工藝的不斷進(jìn)步，設(shè)備廠商 選用射頻源代替 DC 源作為激勵(lì)能量。射頻源具有穩(wěn)定、精準(zhǔn)的特點(diǎn)，能夠保證激勵(lì)能量環(huán)節(jié)的可靠性。
l 在半導(dǎo)體生產(chǎn)中，射頻能量直接決定了反應(yīng)室中等離子體的特性。在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，任何環(huán)節(jié)的 可靠性都影響了*終良率。
l 如在 wafer 生產(chǎn)的 20 日周期內(nèi)，如若任何環(huán)節(jié)出現(xiàn)的微小偏差，*終可能 會(huì)造成晶格損傷等嚴(yán)重問題，造成大批壞片。
l 作為產(chǎn)業(yè)鏈其中的環(huán)節(jié)之一，維持射頻電源的穩(wěn)定輸出是不可或缺的。在蝕刻、鍍膜等工藝中對(duì)射頻 電源的應(yīng)用非常廣泛，射頻上可能出現(xiàn)的問題直接制約了生產(chǎn)工藝及效率。
l 在新進(jìn)設(shè)備裝機(jī)驗(yàn)證及日常運(yùn)行階段，需要定期使用 BIRD RF 校準(zhǔn)套件對(duì)射頻電源進(jìn)行驗(yàn)證輸出一致 性并加以校正；當(dāng)機(jī)臺(tái)設(shè)備出現(xiàn)故障時(shí)，需要使用 BIRD RF 校準(zhǔn)套件進(jìn)行故障排查檢測(cè)。
BIRD 半導(dǎo)體測(cè)量解決方案
BIRD Semiconductor Measurement Solution
l 包含半導(dǎo)體精密功率傳感器、精密負(fù)載、精密讀數(shù)功率計(jì)及 SK-200 纜線測(cè)試儀。
其中：
1. 標(biāo)準(zhǔn)阻抗的低插損通過式精密功率傳感器（Sensor）串聯(lián)進(jìn)入系統(tǒng)，準(zhǔn)確測(cè)量功率參數(shù)；
2. 精密負(fù)載（Dummy Load）高效耗散射頻能量；
3. 讀數(shù)功率計(jì)（Meter）可自動(dòng)計(jì)算駐波比，實(shí)現(xiàn)**計(jì)算；
4. SK-200-TC 對(duì)于纜線系統(tǒng)及負(fù)載準(zhǔn)確評(píng)估，保證系統(tǒng)穩(wěn)定準(zhǔn)確。
為了獲得*大的過程可重復(fù)性和一致性，現(xiàn)代等離子應(yīng)用需要**的RF功率調(diào)節(jié)和控制。 確保準(zhǔn)確，可重復(fù)地向腔室輸送射頻功率的關(guān)鍵因素是對(duì)射頻發(fā)生器的校準(zhǔn)，調(diào)節(jié)和監(jiān)控。 Bird現(xiàn)在提供超穩(wěn)定，低VSWR負(fù)載，當(dāng)與4020系列精密功率傳感器一起使用時(shí)，可快速，**地測(cè)量射頻源的功率輸出。 Bird的8865SC13，8890-300SC13，8921SC13和8931 SC型號(hào)不僅提供低VSWR，而且在過程的關(guān)鍵頻率下，VSWR的總變量小于0.1 dB。
由于針對(duì)不同的時(shí)間進(jìn)行校準(zhǔn)，因此無需進(jìn)行負(fù)載預(yù)熱或重復(fù)性風(fēng)險(xiǎn)。 這樣可以使與此校準(zhǔn)相關(guān)的誤差*小化，并控制更關(guān)鍵的過程變量之一。
精密油冷假負(fù)載
Precision Oil-Cooled Dummy Load
為了使生產(chǎn)過程重復(fù)性和一致性保持理想狀態(tài)，現(xiàn)代等離子體應(yīng)用需要**的 RF 功率調(diào)節(jié)和 控制。確保輸入到真空室的射頻功率的準(zhǔn)確性和重復(fù)性的關(guān)鍵部分就是 RF 電源的校準(zhǔn)、操作規(guī)程 和日常監(jiān)測(cè)。
BIRD 提供超穩(wěn)定，低 VSWR，針對(duì)發(fā)射機(jī)輸出功率配合 BIRD 精密功率傳感器進(jìn)行快速**測(cè)量的負(fù)載。當(dāng)工作在額定區(qū)域時(shí)，精密負(fù)載 VSWR 的總變化范圍能夠保持在 0.1dB 以內(nèi)。
負(fù)載針對(duì)不同時(shí)間長(zhǎng)度校準(zhǔn)，重復(fù)性優(yōu)良且無需預(yù)熱。這樣能夠極大減小該項(xiàng)校準(zhǔn)的誤差， 控制一個(gè)更關(guān)鍵的過程變量穩(wěn)定。
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型號(hào)
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功率等級(jí)
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頻率范圍
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冷卻方式
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預(yù)設(shè)接口
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重量（kg）
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8890-320
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5kW
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DC-2.4GHz
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230VAC 風(fēng)扇冷卻
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QC 型 LC（f）接口
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33kg
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8921
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5kW
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DC-1GHz
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自然冷卻
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QC 型 LC（f）接口
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57kg
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8931-230
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10kW
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DC-1GHz
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230VAC 風(fēng)扇冷卻
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QC 型 LC（f）接口
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65kg
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8921SC13
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5kW
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DC-28MHz
*13.56MHz
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自然冷卻
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QC 型 LC（f）接口
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57kg
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8931-230SC13
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10kW
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DC-28MHz
*13.56MHz
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230VAC 風(fēng)扇冷卻
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QC 型 LC（f）接口
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65kg
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8941-230SC13
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15kW
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DC-28MHz
*13.56MHz
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230VAC 風(fēng)扇冷卻
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QC 型 DIN（f）接口
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107kg
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*Dolly 選件
6771-001：5/10kW 負(fù)載無塵室專用推車
6771-002：15kW 負(fù)載無塵室專用推車
*Dummy Load 校準(zhǔn)周期：一年
Moduloads 高功率液冷負(fù)載
Moduloads High Power Load
模組液冷負(fù)載系列是一款集成式水循環(huán)冷卻負(fù)載，需要 115VAC或 230VAC的電壓輸入。模組負(fù)載能夠有效地將高達(dá) 25 至 50kW 功率等級(jí)的射頻能量耗散，支持頻率范圍延展至 900MHz。負(fù)載芯固定在模組中心。 負(fù)載模組結(jié)構(gòu)緊湊，提供聯(lián)鎖控制電路提供故 障**保護(hù)，可在系統(tǒng)故障發(fā)生時(shí)保護(hù)發(fā)射機(jī)等重要系統(tǒng)單元。
l 結(jié)構(gòu)緊湊
l 一體式水循環(huán)模組系統(tǒng)
l 內(nèi)置護(hù)鎖開關(guān)，保證 RF **環(huán)境
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型號(hào)
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功率等級(jí)
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頻率范圍
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接口類型
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尺寸
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重量
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8645B230
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25kW
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1kHz-900MHz
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3-1/8’’ EIA Flg
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723mm x 497mm x
528mm
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70kg
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8655B230-5
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50kW
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1kHz-900MHz
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3-1/8’’ EIA Flg
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1347mm x 497mm
x 528mm
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125kg
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*Dolly 選件
6771-011:25kW 水冷負(fù)載無塵室專用推車
6772B011:50kW 水冷負(fù)載無塵室專用推車
*使用前請(qǐng)?jiān)敿?xì)閱讀 manual 或在 BSC 指導(dǎo)下使用
脈沖信號(hào)功率傳感器
Pulse Signal Power Sensor
7027 系列
7027 系列功率傳感器是 BIRD 公司針對(duì)半導(dǎo)體市場(chǎng)推出的一款新型實(shí)驗(yàn)室級(jí)傳感器。當(dāng)應(yīng)用在指定頻率范圍和功率范圍時(shí)，傳感器的精度范圍能夠達(dá)到 1%，能夠測(cè)量脈沖信號(hào)功率下的門限功率值等多種調(diào)制參數(shù)?？商峁?shù)個(gè)接頭種類匹配，使用無需現(xiàn)場(chǎng)校準(zhǔn)。
l 脈沖時(shí)域信號(hào)測(cè)量
l 支持至多 4 階連續(xù)脈沖波形門限功率測(cè)試
l 標(biāo)定范圍內(nèi)功率測(cè)量精度 1%
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型號(hào)
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頻率范圍
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功率范圍
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重復(fù)率
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脈沖寬度
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射頻接口
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7027-1-24001
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400kHz±10%
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25W-25kW
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10Hz-11.25kHz
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44us
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QC 型自定義
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7027-1-64601
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1MHz±10%
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5.5W-25kW
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10Hz-10kHz
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17us
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QC 型自定義
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7027-1-44601
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2MHz±10%
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5.5W-25kW
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10Hz-50kHz
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11us
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QC 型自定義
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7027-1-94301
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13.56MHz±5%
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10W-10kW
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10Hz-50kHz
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1us
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QC 型自定義
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真實(shí)脈沖信號(hào)測(cè)量
Bird VPM3半導(dǎo)體加載平臺(tái)已在前段晶圓制程工藝應(yīng)用中具有先進(jìn)性。提供全方位的現(xiàn)場(chǎng)傳感器兼容，應(yīng)用程序?qū)?shù)據(jù)采集和擁有同時(shí)管理多個(gè)傳感器的能力。
特點(diǎn)
l 同時(shí)管理多達(dá)50個(gè)傳感器
l 多重顯示功能：數(shù)字、模擬和條形圖
l 每個(gè)顯示屏可以根據(jù)用戶喜好定制。
l 與各種各樣的USB功能的傳感器兼容：5012D，5014, 5015，5015-EF，5016D，5017D，5018D，5019D，7020系列, 7022系列
功能
l 平均功率（正向和反射），VSWR，峰值功率，峰值因子，和Burst Power
l 具有保存日志文件回放的數(shù)據(jù)記錄功能，XML文件和逗號(hào)分隔格式的日志文件
l 快照功能，上乘的系統(tǒng)組件，無需校準(zhǔn)，秒插即用
系統(tǒng)要求
l Windows 7及以上
l IE瀏覽器
l PDF閱讀器
l 800 x 600, 256的彩色顯示屏（1280 x 720, 16位或更高分辨率的建議）
l 100 MB空閑磁盤空間
l 1個(gè)可用USB端口
l 鼠標(biāo)或指向裝置
l 光盤驅(qū)動(dòng)器（用于安裝）
