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Model（型號）
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PB600
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PB1000S
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PA600D
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Plasma method（工作模式）
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Barred type of DP mode （隔絕型DP模式）
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DF mode（DF模式）
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Electrode（電極結(jié)構(gòu)）
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Split of Opposite electrode structure
（對面分離式構(gòu)造）
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Round type electrode structure（球形構(gòu)造）
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RF generator（高頻功率）
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0 to 600W
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50 to 1,000W
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0 to 600W
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Oscillating frequency（振蕩頻率）
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13.56MHz
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Control system
（控制系統(tǒng)）
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Digital display with PLC control
（PLC控制數(shù)碼顯示）
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Touch panel with PLC
（PLC控制液晶觸摸顯示屏）
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Digital display with one touch operation
（數(shù)碼顯示單接觸運行）
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Tuning method（調(diào)諧方式）
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Automatic and Manual tuning（全自動及手動）
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Timer（定時設定）
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1 sec. to 9H 59min.59 sec.（1秒---9小時59分59秒）
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Chamber（反應室）
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Made of quart glass（石英）
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Chamber size（反應室尺寸）
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ø200×300mmL
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ø300×500mmL
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Adapt for 6 inch wafer
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Chamber temperature(反應室溫度)
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Digital display（數(shù)碼顯示）
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Reaction gas（反應氣體）
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O2,CF4 or others
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O2,Ar,CF4,C5F8,SF6 or others
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Purge gas（凈化氣體）
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N2 or Dry air（氮氣或潔凈干燥空氣）
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Flow meter（流量計）
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Flow meter 1 line
（線型流量計）
(O2 0 to 1,000 ml/min.)
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Mass flow control with digital display
（聚合控制、數(shù)碼顯示）
(CF4 0 to 300sccm, O2 0 to 1,000sccm)
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Vacuum gauge（真空測量）
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Piranie type
(0.4 to 3,000Pa/0.004 to 30Torr)
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Digital display (0.4 to 3,000Pa/0.004 to 30Torr)
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Vacuum pump（真空泵）
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250 ml/min.
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700 ml/min.
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Emargency stop switch（緊急停止）
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Push type switch（按動式）
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Gas port（反應氣體端口）
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1 line (1/4" SUS Swagelok)
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2 line (1/4" SUS Swagelok)
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Purge port（凈化氣體端口）
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1 line (1/4" SUS Swagelok)
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1 line (1/4" SUS Swagelok)
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Vacuum port（真空端口）
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1 line ( SUS NW25)
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1 line ( SUS NW25)
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External dimensions（外形尺寸）
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500mmW×600mmD×650mmH
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640mmW×850mmD×1,695mmH
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650mmW×800mmD×1,500mmH
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Power supply（電源規(guī)格）
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AC200/220/380V, 3 phase
and AC100/220V, single phase
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Weight（重量）
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Approx. 130kg
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Approx. 180kg
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Approx. 150kg
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