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產(chǎn)品名稱: 日本YAMATO自動(dòng)化等離子處理機(jī)
產(chǎn)品型號: ISP500
產(chǎn)品展商: 其它品牌
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔
簡單介紹
日本YAMATO自動(dòng)化等離子處理機(jī) ISP500 本產(chǎn)品是用等離子來進(jìn)行表面處理的專業(yè)裝置。具有高性能，力求操作簡便，快捷，可顯示數(shù)據(jù)。廣泛應(yīng)用于以電子材料為中心的各個(gè)行業(yè)中。用途:用于CSP、BGA、COB、基板的等離子處理。消除有機(jī)膜，金屬氧化膜。用于印刷電路板的干式清洗。界面活性處理。
日本YAMATO自動(dòng)化等離子處理機(jī)
的詳細(xì)介紹
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Plasma Model（模式）
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RIE/DP
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RIE : Reactive Ion Etching（蝕刻）
DP : Direct Plasma（直接作用）
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RF Generator（高頻輸出功率）
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10 to 500W
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Oscillating Frequency（振蕩頻率）
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13.56MHz
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Chamber Size工作室尺寸 (mm)
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344W×230D×45H
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用途：
*BGA、CSP和攝像基板的等離子處理。
*基板表面的改質(zhì)。
*電子半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)相關(guān)部件、材料的
干洗、蝕刻及灰化。
*酸化膜、有機(jī)膜的除去。
*界面活性處理。
*表面污染物的去除。
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生產(chǎn)線編入和獨(dú)立使用型In-Line and Stand Alone Type (Strip to Strip process)
Outline（概要）
Two lead frame (strip) vertical or parallel loading function.（雙導(dǎo)引結(jié)構(gòu)，垂直或水平裝載功能。） Pull out two strip from Magazine--Loading two strip into the chamber--Plasuma cleaning process--Unloading two strip from chamber--Strip goes to magazine or next process to direct.
Total system controlled by PLC controller.（全系統(tǒng)PLC控制） LCD touch panel display and operation.（觸摸式液晶顯示屏操控） Lead frame (strip) size（導(dǎo)引帶尺寸）--Up to 25 to 80(W)×100 to 250(L)×0.2 to 2.5(t)mm also. We can provide Customized In-Line plasma.（我們能夠提供用戶特制規(guī)格的生產(chǎn)線嵌入式等離子裝置）
Feature（特點(diǎn)）
- Special electrode built in for getting good plasma efficient.（設(shè)計(jì)有能取得良好等離子效果的特殊電極）
- RIE/DP mode selectable（可選擇使用RIE和DP模式）
- RF power up to 500W （高頻功率提高到500W）
- All automatic operation（全自動(dòng)操作運(yùn)行）
- LCD touch panel and PLC control （觸摸式LCD操控板）
- Any chamber size are available for customer's Lead frame or strip. （可以制作特殊規(guī)格的工作室尺寸）
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Specifications（規(guī)格簡介）
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Model（型號）
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ISP500 series（系列）
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Plasma method （模式）
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RIE/DP mode
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RF generator（高頻功率）
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10 to 500W
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Oscillation frequency（振蕩頻率）
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13.56MHz
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Control system（控制系統(tǒng)）
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LCD touch panel with PLC
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Tuning method（運(yùn)行方式）
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Automatic tuning
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Chamber size（工作室尺寸）
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344(W)×230(D)×45(H)mm
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Electrode size（電極尺寸）
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250(W)×180(D)mm
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Gas system（供氣系統(tǒng)）
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Mass flow control 2 line
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