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產(chǎn)品名稱: 日本YAMATO大型等離子清洗機(jī)
產(chǎn)品型號: V1500X
產(chǎn)品展商: 其它品牌
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔
簡單介紹
日本YAMATO大型等離子清洗機(jī) V1500X 本產(chǎn)品是用等離子來進(jìn)行表面處理的專業(yè)裝置。具有高性能，力求操作簡便，快捷，可顯示數(shù)據(jù)。廣泛應(yīng)用于以電子材料為中心的各個行業(yè)中。用途:用于CSP、BGA、COB、基板的等離子處理。消除有機(jī)膜，金屬氧化膜。用于印刷電路板的干式清洗。界面活性處理。
日本YAMATO大型等離子清洗機(jī)
的詳細(xì)介紹
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日本YAMATO大型等離子清洗機(jī) V1500X
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- RIE / DP mode selectable（ RIE和DP兩種模式選擇）
- Aluminum chamber （鋁質(zhì)工作室）
- For Magazine CSP/BGA （對應(yīng)清洗CSP/BGA收納盒）
- LCD Touch panel operation （液晶觸摸式顯示控制板）
- Easy to set up parameter and operation （設(shè)定簡單自動運(yùn)行）
- Built in safety function with Emergency stop switch （**保障功能充實，配有緊急停止開關(guān)）
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Specifications（規(guī)格簡介）
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Model（型號）
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V1500X
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Plasma method （等離子模式）
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RIE • DP mode
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Electrode（電極構(gòu)造）
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Parallel flat stage plate
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Electrode material（電極材料）
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SUS-304
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Chamber temperature（工作室溫度）
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Digital display（數(shù)碼溫度顯示）
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RF generator（高頻功率）
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100~1500W
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Oscillation（振蕩頻率）
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13.56MHz
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Control system（控制系統(tǒng)）
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LCD Touch panel with PLC
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Tuning method（調(diào)諧方法）
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Automatic and Manual自動和手動
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Timer（定時）
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1sec-9H 59min 59 sec
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Chamber size（內(nèi)槽尺寸）
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(W)600×(D)550×(H)600mm
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Stage size（工作臺尺寸）
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(W)460×(D)400mm
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Chamber material（工作室材料）
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Aluminum
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Reaction gas（反應(yīng)氣體）
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O2,Ar,CF4混和氣體
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Purge gas（凈化氣體）
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N2 or Dry air
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Flow meter（流量計）
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Mass flow control 2 line雙路聚合控制
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Vacuum pump（真空泵排氣量）
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1,400L/min
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Emergency stop switch(緊急停止開關(guān))
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Push type switch
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Gas port（氣體端口）
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2 pc (1/4"SUS swage - lock)
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Purge port（凈化端口）
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1pc (1/4"SUS swage - lock)
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Vacuum port（真空泵端口）
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1pc (SUS NW40)
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External dimension（外形尺寸）
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(W)900×(D)1,000×(H)1,700mm
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Power supply（電源供應(yīng)）
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AC200/220/380V 3 phase 25A
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Weight（重量）
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Approx. 300kg
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