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產(chǎn)品名稱: 日本YAMATO大型等離子清洗機(jī)
產(chǎn)品型號(hào): PC1000-5030
產(chǎn)品展商: 其它品牌
產(chǎn)品文檔: 無(wú)相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
日本YAMATO大型等離子清洗機(jī) PC1000-5030 本產(chǎn)品是用等離子來(lái)進(jìn)行表面處理的專業(yè)裝置。具有高性能，力求操作簡(jiǎn)便，快捷，可顯示數(shù)據(jù)。廣泛應(yīng)用于以電子材料為中心的各個(gè)行業(yè)中。用途:用于CSP、BGA、COB、基板的等離子處理。消除有機(jī)膜，金屬氧化膜。用于印刷電路板的干式清洗。界面活性處理。
日本YAMATO大型等離子清洗機(jī)
的詳細(xì)介紹
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日本YAMATO大型等離子清洗機(jī)PC1000-5030
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- RIE / DP mode selectable （RIE/DP模式切換選擇使用）
- 配備大型樣品室，適合大型基板清洗。
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Specifications（規(guī)格簡(jiǎn)介）
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Model（型號(hào)）
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PC1000-5030
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Plasma method （等離子模式）
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RIE • DP
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Electrode（電極）
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Parallel flat stage plate平行平板（電極間距可變）
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RF generator（高頻輸出功率）
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100~1000W
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Oscillation frequency（振蕩頻率）
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13.56MHz（水晶發(fā)振）
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Control system（控制系統(tǒng)）
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LCD Touch panel with PLC觸摸式液晶顯示操控盤(pán)
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Chamber size （工作室尺寸）
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(W)600×(D)370×(H)145mm
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Stage size（工作臺(tái)尺寸）
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(W)500×(D)300mm
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Chamber material（工作室材料）
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Aluminum
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Reaction gas（反應(yīng)氣體）
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O2,Ar,CF4,C5F8,SF6 or others
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Purge gas（凈化氣體）
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N2 or Dry air
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Flow meter（流量計(jì)）
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Mass flow control 2 line（雙路聚合流量控制）
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Vacuum pump（真空泵排氣量）
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700L/min
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Gas system（氣路）
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2 line (Reaction gas) , 1 line (Purge gas)
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External dimension（外形尺寸）
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(W)900×(D)950×(H)1,530mm
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Power supply（電源供應(yīng)）
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AC200/220/380V 3 phase 25A
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